中国工程物理研究院流体物理研究所高精度三维位移台模块采购项目询比公告
2023-05-12
序号 |
包件号 |
包件名称 |
产品名称 |
数量 |
采购预算 |
最高限价 |
★交货地点 |
简要技术要求 |
1 |
1 |
高精度三维位移台模块 |
高精度三维位移台模块 |
1套 |
380,000.00元 |
380,000.00元 |
四川省绵阳市游仙区科学城流体物理研究所 |
主要技术参数: ★1、行程:X×Y×Z=100mm×100mm×50mm; ★2、定位精度:优于±0.25μm(X轴,Y轴,Z轴); ★3、重复定位精度:优于±0.1μm(X轴,Y轴,Z轴); ★4、直线度:优于±1μm(X轴,Y轴)、优于±0.5μm(Z轴); ★5、平面度:优于±2μm(X轴,Y轴)、优于±1.5μm(Z轴); ★6、电子分辨率:优于5nm(X轴,Y轴,Z轴); ★7、最大速度:≥200mm/s(X轴,Y轴)、≥50mm/s(Z轴); ★8、最大加速度:≥2m/s^2(X轴,Y轴)、≥1m/s^2(Z轴); ★9、最大负载:≥5kg; ★10、样品台位于Z轴,台面平行于XY平面,尺寸150mm×150mm,XY全行程内Z方向跳动小于±2.5μm; ★11、控制器具备连续的直线插补、圆弧插补功能,且能同步输出5V TTL信号用于控制激光器(适用于高速、高精度激光加工应用场景); ★12、带完善的C#编程接口、示例程序; ★13、包含线缆、电源、空气压缩机(如采用气浮、气缸等设计)等必要配件。 |
联系人:陈经理
电话:010-83551561
手机:13717815020 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@gdtzb.com
QQ:1571675411
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