北京大学重庆碳基集成电路研究院单片湿法清洗设备采购项目招标公告-国电投电子商务平台

北京大学重庆碳基集成电路研究院单片湿法清洗设备采购项目招标公告

2024-03-06

项目名称：北京大学重庆碳基集成电路研究院单片湿法清洗设备采购项目
预算金额：680.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：680.000000 万元（人民币）
采购需求：

包号

货物名称

数量

简要技术规格

是否允许采购进口产品

采购

预算

单片湿法清洗设备

1台设备

用于单片湿法清洗和刻蚀工艺，工艺完成后晶圆无聚合物和颗粒残留；
清洗和去胶工艺效果在片上、片间、批次间一致，稳定性良好；
传送及工艺前后，晶圆particle total adder：＞0.3um＜20ea；
晶圆正面背面无水痕、沾污、划痕等缺陷；
配备4个chamber，至少包括TMAH、SPM、SC2等清洗化学液。

否

680

万元

注：
1)投标人须对整个包中全部内容进行投标，不得转包、分包。评标、授标以整个包为单位。具体技术要求详见招标公告所附附件（即，本招标文件第六章）。
合同履行期限：合同签订后4个月内交货。
本项目( 不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：1）投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；(具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。)2）投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可；3）投标人按照招标公告要求购买了招标文件；4）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。5）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；6）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；8）本项目不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时间：2024年03月06日至 2024年03月13日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间
提交投标文件截止时间：2024年03月27日 09点30分（北京时间）
开标时间：2024年03月27日 09点30分（北京时间）

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联系人：陈经理
手机：13718064756（微信同号）
电话：010-83551561
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