上海集材汇智集成电路技术有限公司电感耦合等离子体质谱仪和氢气发生器和离子色谱采购项目国际(2)招标公告
2024-06-28序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS) | 1 | 用于半导体制程环境洁净度检测,半导体抛光液杂质含量检测、低纯度金属前驱体杂质含量检测。 | 2024.10.20前 |
2 | 电感耦合等离子体串联质谱仪(ICP-MS/MS) | 1 | 用于半导体制程环境洁净度检测,半导体衬底材料表面金属杂质含量检测及硅烷类前驱体杂质含量检测。 | 2024.10.20前 |
3 | 氢气发生器 | 2 | 用于提供超7N级的氢气气源 | 2024.10.20前 |
4 | 离子色谱仪 | 1 | 用于常规集成电路材料中阴、阳离子的分析 | 2024.10.20前 |
5 | 燃烧炉离子色谱系统 | 1 | 用于常规固体、非水溶性液体中卤素和硫的分析 | 2024.10.20前 |
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