招标信息

中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目招标公告

2025-01-10
一、项目基本情况

项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所加工定制超高真空电子束蒸发模块服务采购项目

采购方式：竞争性磋商

预算金额：158.000000万元（人民币）

采购需求：

包号

服务名称

简要技术规格

服务期

采购预算（人民币）

1

加工定制超高真空电子束蒸发模块服务

1）蒸镀腔的极限真空度可达5×10-9 Torr；

2）蒸镀镀膜均匀性在6英寸范围内优于±3%；

3）样品台水冷液氮兼容设计，冷却同时可旋转，最大可放置6英寸晶圆；

4）配备1套电子束蒸发源，270°电子束偏转；坩埚数量不小于6，软件操作自动旋转坩埚；电子枪需配备独立自动挡板。

12个月

158万

合同履行期限：详见服务需求

本项目(不接受)联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：（1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；（2）除单一来源采购项目外，为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。同一供应商可以同时承担项目的整体设计、规范编制和项目管理、监理、检测等服务；（3）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；（4）按本磋商邀请的规定获取磋商文件；（5）供应商不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。

三、获取采购文件

时间：2025年01月09日至2025年01月16日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

售价：￥600.0元（人民币）

四、响应文件提交

截止时间：2025年01月20日09点30分（北京时间）


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联系人：陈经理
电话：010-83551561
手机：13717815020 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411

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