招标信息

zycgr24041501原子层沉积系统(双腔)采购项目招标公告

2025-01-17
一、项目基本情况

项目编号：1009-254

项目名称：zycgr24041501原子层沉积系统（双腔）采购项目

预算金额：135.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：135.000000 万元（人民币）

采购需求：

采购项目的名称、数量：

包号

货物名称

数量

简要技术规格

是否允许采购进口产品

1

原子层沉积系统（双腔）

1套

1、反应腔室：独立内外嵌套双腔结构，内腔安装在外腔内，外腔对内腔加热，内腔可拆卸；

2、最大8英寸晶圆，向下兼容，标配2套内腔，高温、低温各1套；

3、样品加热温度：低温腔50~250℃，高温腔80~450℃；

4、前驱源：直通源3路，鼓泡源1路，水源1路，臭氧源1路；

5、载气系统：2路氮气；

6、干泵系统，整机极限真空＜5E-2Torr；

7、高精度PLC+工控机控制系统，外挂式触摸屏，可自由悬停；

8、LOADLOCK传输系统，负责上下料，独立干泵；

否

注：本项目共分为1个包。投标人须以包为单位对相应包全部内容进行投标，不得拆分、转包、分包，评标、授标以包为单位。

合同履行期限：合同签订之日6个月内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

供应商所提供的产品须为中小微企业或监狱企业、残疾人福利性单位制造的产品。

3.本项目的特定资格要求：3.1.供应商须为在中华人民共和国境内注册，具有独立承担民事责任和履行合同能力，能够合法提供本采购项目货物和服务的独立法人企事业单位；3.2.供应商须提供授权委托人由社保部门出具的投标截止之日起前三个月内任意一月(不含投标当月)在投标单位的社保缴费证明复印件并加盖公章；3.3.拒绝下述供应商参加本次采购活动：1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。3）拒绝被“信用中国”网站、中国政府采购网列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商参与政府采购活动。

三、获取招标文件

时间：2025年01月17日  至 2025年01月24日，每天上午9:00至11:00，下午14:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）


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联系人：陈经理
电话：010-83551561
手机：13717815020 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411

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