招标信息

刻蚀工艺终点检测模块定制加工招标公告

2025-04-01

一、项目基本情况

1.项目编号/包号:THT

2.项目名称：刻蚀工艺终点检测模块定制加工

3.项目预算金额：50.00万元（人民币）。

4.项目最高限价（如有）：/万元（人民币）。

5.采购需求：

包号

标的名称

采购包预算金额

（万元）

数量

简要技术需求或服务要求。

01

刻蚀工艺终点检测模块定制加工

50.00

1项

为满足氧化硅刻蚀工艺的需求，需要在刻蚀设备上定制终点检测模块，并增加对应硬件驱动以及相应的软件适配。最终实现设备自动控制刻蚀工艺作业时间，精确控制刻蚀深度，确保不同晶圆或不同批次之间的一致性，提高刻蚀工艺稳定性。

6.合同履行期限：自合同生效日起至本次加工服务完成止。

7.本项目不接受联合体投标。

二、申请人的资格要求

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.本项目的特定资格要求：

1）通过“信用中国”网站和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），对近三年内列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；

2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。

三、获取招标文件

1.时间：2025年04月02日至2025年04月09日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17：00（北京时间，法定节假日除外）。

2.售价：500元。

四、提交投标文件截止时间、开标时间

投标截止时间、开标时间：2025年04月25日09时30分（北京时间）。


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联系人：陈经理
电话：010-83551561
手机：13717815020 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411

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