招标信息

中国科学院上海微系统与信息技术研究所范德华异质集成模块加工服务采购项目招标公告

2025-04-17
一、项目基本情况

项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所范德华异质集成模块加工服务采购项目

预算金额：411.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：411.000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

服务名称

简要技术规格

服务期

采购预算

（人民币）

1

范德华异质集成模块加工服务

1.1 本加工模块支持不同尺寸（最大 8 英寸）的晶圆。配备两个集成夹具

（bondchuck）。具备晶圆传输功能，实现夹具在设备内自动安全的运转；

1.2真空系统：工作状态下，设备真空度≤1x10-5mbar；

1.3集成贴合模块：上下两个加热/冷却盘独立控温，升温速率最高可达45oC/min，降温速率最大可达15oC/min。九点温度均匀性：≤±2℃ 或 ±1%

1.4集成贴合模块：集成状态时，贴合压力范围200N-30KN；可按照处方设定速率加压，平均最高加压速度500N/s；压力波动范围：≤±1%或者≤±100N；压盘材质为碳化硅SiC；压盘接触时，上下加压面平行度≤50 um；具备柔性自适应调平系统；

1.5 设备自带照明观察窗，以便在作业时随时查看集成工艺中状态；

1.6 配置腔体提升装置，方便腔体内部清洁保养；

1.7 模块配置 FFU；

1.8*具备高精度对准模块的可扩展性，具备 X-Y-Θ对位平台控制单元，且能

够与本单位采购双目三维移动高精度对准仪匹配。具备晶圆自动锲型补偿功能的扩展性，支持上下晶圆自动调焦；

1.9对准模块：a)运动平台： X-Y镜头运动台；b)减振平台：机台配置减振系统；

1.10高精度夹具夹紧机构，设备具备高稳定性载盘定位技术。

1.11支持对准标记种类适应范围广，同时支持异型标记对准。

1.12具备图像自动识别功能，可实现自动，手动对位功能的切换选择。

5个月

  411万元

合同履行期限：详见服务需求

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

不涉及

3.本项目的特定资格要求：（1）在中华人民共和国境内依法注册的，具有独立承担民事责任能力，遵守国家法律法规，具有良好信誉，具有履行合同能力和良好的履行合同的记录，具有良好资金、财务状况的企事业法人、其他组织或者自然人；（2）除单一来源采购项目外，为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该采购项目的其他采购活动。同一供应商可以同时承担项目的整体设计、规范编制和项目管理、监理、检测等服务；（3）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；（4）按本投标邀请的规定获取招标文件；（5）本项目不允许分包和转包；（6）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商。

三、获取招标文件

时间：2025年04月17日  至 2025年04月24日，每天上午9:00至11:00，下午13:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

售价：￥600.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间

提交投标文件截止时间：2025年05月08日 13点30分（北京时间）

开标时间：2025年05月08日 13点30分（北京时间）


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联系人：陈经理
电话：010-83551561
手机：13717815020 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411

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