一、项目基本情况 招标人:润芯感知科技(南昌)有限公司 建设地点:南昌 项目规模:/ 项目资金来源:自筹 项目名称:润芯感知科技(南昌)有限公司 标段名称:离子注入机采购 招标内容和范围:为拓展MEMS产品线,达成商业计划的需要,新购1台离子注入设备,主要用于 B、P、As、BF2 等元素注入, 剂量范围在 5E11-1E16 ions/cm2 之间,能量 5-180keV。产品尺寸为150mm,圆片厚度为300~1000um,设备需具备升级8寸的能力。 交货期/工期:中标供应商应在合同签订后150个自然日内将设备交付到我司工厂。 注:详细内容见招标文件,以招标文件为准。
二、投标人资格能力要求 1.资格要求:NA
2.业绩要求:2020年1月1日起到截标日止,在半导体前道晶圆制造工厂有1台及以上AXCELIS GSD 200系列设备整机销售业绩
3.联合体投标: 不允许
4.代理商投标:允许
5.信誉要求:不属于在国家公共信用信息中心“信用中国”网列入失信惩戒名单
6.其他要求:NA 备注:
三、招标文件的获取
(一)获取时间 2025年04月28日- 2025年05月06日
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