快速热退火设备及AMOLED成膜封装设备采购项目国际(2)招标公告
2025-05-20序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
4197-2140BOETRI02/15 | 晶圆键合设备 | 1台 | 本设备主要用于半导体领域晶圆键合,本系统能够适用0.35mm~1.5mm的玻璃、蓝宝石、碳化硅、砷化镓基板和硅片基板,以及35-1000μm的玻璃、蓝宝石、碳化硅、砷化镓、硅芯粒。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY10000/USD1650 |
4197-2140BOETRI02/16 | 化学机械研磨机 | 1套 | 本规格描述的CMP设备用于化学机械抛光(含清洗)。处理材料Cu, GaN, SiO2, SiCN , Si, SiC,SiNx, Ti, Ta, TiN, TaN, ITO,Resin, 设备包含抛光单元、清洗单元、EFEM。要求该设备结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质。所选控制系统执行元件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。 | CNY5000/USD850 |
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