招标信息

等离子增强化学气相沉积专用干泵二次招标公告

2025-07-10
1.招标条件

本招标项目等离子增强化学气相沉积专用干泵(二次招标),招标人为武汉天马微电子有限公司上海分公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对等离子增强化学气相沉积专用干泵(二次招标)进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

项目概况与招标范围：等离子增强化学气相沉积专用干泵14台（Non-Harsh：10台、Harsh：4台）

包名称：等离子增强化学气相沉积专用干泵(二次招标)

数量：14台（Non-Harsh：10台、Harsh：4台）

简要技术要求：（1）干泵主要为面板行业化学气象沉积机的配套抽真空设备；（2）平均故障间隔时间：Non-Harsh≥10000H，Harsh≥25000H,投标文件中需要提供说明资料；（3）抽气能力要求，投标人需在投标文件中提供说明资料。

3.投标人资格要求

3.1投标人资格要求：（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2010年1月至今必须有化学气相沉积机真空泵（应用于FPD CVD制程）1000台以上（含1000台）销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供业绩资料）。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2本次招标：不接受联合体投标。

3.3未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4.招标文件的获取

4.1获取时间：2025-07-10 00:00至2025-07-17 23:59

4.2招标文件价格：3500.00元或600.00（美元），售后不退。

5.投标文件的递交及开标

5.1投标文件递交截止时间（开标时间）：2025-07-31 09:30


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联系人：陈经理
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