山东有研艾斯半导体材料有限公司12英寸集成电路用大硅片产业化项目气体纯化器采购招标公告
2023-01-09
品目号 |
产品名称 |
数量 (台/套) |
简要技术要求及规格 (详见招标文件) |
交货期 |
交货地点 |
1 |
氮气纯化器 |
1套 |
500Nm3/h, Type:吸附+催化脱甲烷O2、H2O、CO、CO2、NMHC、H2、CH4<1ppb,详见技术规格及要求 |
合同签订后4个月内(2023年6月10日前) |
山东省德州市经济技术开发区12英寸集成电路用大硅片产业化项目现场 |
2 |
氢气纯化器 |
1套 |
200Nm3/h, Type: 吸附+Getter脱甲烷 O2、H2O、CO、CO2、NMHC、N2、CH4<1ppb,详见技术规格及要求 | ||
3 |
氧气纯化器 |
1套 |
20Nm3/h, Type:催化脱甲烷+吸附 H2O、CO、CO2、CH4、NMHC、H2详见技术规格及要求 |
联系人:陈经理
电话:010-83551561
手机:13717815020 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱:kefu@gdtzb.com
QQ:1571675411
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