招标信息

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目(第二次)招标公告

2025-04-28
项目名称：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所投影式光刻机采购项目

预算金额：3600.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：3000.000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

货物名称

数量

（套）

简要要求

是否允许采购进口产品

最高限价

1

投影式光刻机

1

该机用于集成电路生产中的微光刻工艺。是用来将掩膜版上形成的集成电路图形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重复投影成像在晶圆表面上。该机具备Inline（联机）自动涂胶显影单元功能和配置。

该机含有涂胶显影单元、晶圆自动传输系统、版库自动管理系统、可编程掩膜版光栏、自动调焦调平、晶圆自动对准、掩膜版自动对准、镜头倍率控制、自动光量控制、图形自动优化设计计算、故障显示报警等先进功能。

将曝光掩膜版和晶圆分别装入掩膜版库和晶圆传输单元后，扫描式光刻机将按照操作软件设定的数据格式、工作时序自动完成包括掩膜版、晶圆的交换、自动对准、自动调焦、自动分步曝光在内的工作过程。

是

3000万元
 

合同履行期限：合同签订后6个月内

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目不属于专门面向中小微企业、监狱企业、残疾人福利性单位采购的项目

 

3.本项目的特定资格要求：1）投标人须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；（具体为供应商参加政府采购活动应当具备下列条件：（一）具有独立承担民事责任的能力；（二）具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；（三）具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；（四）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；（五）参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；（六）法律、行政法规规定的其他条件。）；2）投标人须在中华人民共和国境内合法注册、有法人资格并符合工商局或相关行业主管部门核准的经营范围或经营许可（进口产品投标必须委托国内代理商投标）；3）投标人按照招标公告要求购买了招标文件；4）投标人不得为列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商；5）为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目投标；6）投标单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动；7）本项目不接受联合体投标。8）投标商或者其制造商须具备两个符合要求的180nm或更高分辨率的DUV光刻机整体系统的成功案例，且案例必须同时满足以下要求:(一)已通过最终用户验收并正式投入使用，并能提供目前仍在运行使用的实景视频（U盘或者光盘），同时提供以上系统详细地址，拍摄时间需为购买标书至投标截止时间之前的时间；(二) 每个案例须包含完整信息：设备参数、以及品牌（与本项目所投相同品牌）、以及规格型号及制造商；以及采购方信息（必须全部包含）：单位全称、设备所在地；联系人信息：姓名及有效联系方式。必须随投标文件同时提供以下证明材料：1) 设备采购合同关键页（文件复印件并加盖公章）; 2) 上述合同各付款环节的发票（复印件并加盖公章）;3) 最终用户签署的验收报告（复印件并含用户单位公章（鲜章））。（三）按最终整体系统完成的产地认定本项目产品属性，即整体系统最终全部进口交货的为进口产品；如果整体系统最终在国内制造或者组装交货的为国产产品；9）投标商或者其制造厂家需具备整体系统的组装和维修能力。

三、获取招标文件

时间：2025年04月28日  至 2025年05月08日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）


本招标项目仅供正式会员查看，您的权限不能浏览详细信息，请点击注册/登录，联系工作人员办理入网升级。

联系人：陈经理
手机：13718064756（微信同号）
电话：010-83551561
邮箱：kefu@gdtzb.com
QQ：1571675411

相关项目